低真空PUMP維護：
為確保造價高昂的超高真空PUMP保持正常使用壽命，前期PUMP的維護具有關鍵性因素。本公司依照油式與乾式兩種粗抽PUMP截然不同的設計特性，提供正確專用料件維修，以及適用之運轉檢驗標準，確保維修品質與運轉效能。
為確保造價高昂的超高真空PUMP保持正常使用壽命，前期PUMP的維護具有關鍵性因素。本公司依照油式與乾式兩種粗抽PUMP截然不同的設計特性，提供正確專用料件維修，以及適用之運轉檢驗標準，確保維修品質與運轉效能。
我們的優勢
- 精密且高轉速的運轉需要繁複與精準的校正調整，維持穩定低損耗的運轉，確保使用壽命。
- 把損壞的分子PUMP修復如初，回復原本性能，是我們最基本的技能。
- 預防改善提案是我們關鍵的競爭力，依照PUMP損壞的狀況與ALARM歷史紀錄的分析，能夠精準的推斷出造成壽命縮短的主要原因，並且透過檢查改善真空系統與分析製程因素，提出有效對策才是菲肯科技的核心價值。
使用特性
超高真空渦輪分子泵維護：
分子泵區分為軸承式，半磁浮式，全磁浮式三種高轉速運轉之精密設備，並依照不同使用環境區分如IMP，PVD，CVD，ETCH…等不同製程，其原廠設計使用零件等級也有很大區隔，由於我們受過專業訓練與長期專業經驗積累，可以精準判斷對應的零件。
保養的意義在於定期清除有害物質，避免零件因阻塞、腐蝕、偏移以及磨損等因素造成嚴重毀損，以延長使用年限，避免生產中斷造成更大損失。
分子泵區分為軸承式，半磁浮式，全磁浮式三種高轉速運轉之精密設備，並依照不同使用環境區分如IMP，PVD，CVD，ETCH…等不同製程，其原廠設計使用零件等級也有很大區隔，由於我們受過專業訓練與長期專業經驗積累，可以精準判斷對應的零件。
保養的意義在於定期清除有害物質，避免零件因阻塞、腐蝕、偏移以及磨損等因素造成嚴重毀損，以延長使用年限，避免生產中斷造成更大損失。